검색결과 : 3건
| No. | Article |
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Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 박진형, 김민석, 백운규, 박재근 Korean Journal of Materials Research, 15(6), 426, 2005 |
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Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구 김석구, 백운규, 박재근 Korean Journal of Materials Research, 14(6), 413, 2004 |
| 3 |
겔-케스팅한 알루미나 성형체에서 출발입도가 공정변수 및 성형 미세구조에 미치는 영향 하창기, 김재원, 조창용, 백운규, 정연길 Korean Journal of Materials Research, 11(10), 869, 2001 |