검색결과 : 1건
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반도체 노광 공정의 DI 세정과 Oxide의 HF 식각 과정이 실리콘 표면에 미치는 영향 백정헌, 최선규, 박형호 Korean Journal of Materials Research, 20(8), 423, 2010 |
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반도체 노광 공정의 DI 세정과 Oxide의 HF 식각 과정이 실리콘 표면에 미치는 영향 백정헌, 최선규, 박형호 Korean Journal of Materials Research, 20(8), 423, 2010 |