검색결과 : 1건
No. | Article |
---|---|
1 |
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성 홍주형, 김상훈, 한윤봉 Korean Chemical Engineering Research, 42(4), 447, 2004 |
No. | Article |
---|---|
1 |
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성 홍주형, 김상훈, 한윤봉 Korean Chemical Engineering Research, 42(4), 447, 2004 |