화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교)
권호 13권 2호
발표분야 전자재료
제목 LTCC 무수축 비아 전극의 수축 거동에 관한 연구
초록 저온에서 동시 소성 가능한 다층 세라믹 기판은(LTCC) 부품의 소형화, 고기능화 및 집적화를 이루기 위하여 RF부품 및 전자 부품에 많이 사용되어 지고 있다. 특히, 알루미나와 같은 구속층을 사용하여 구속 소성하는 무수축 공법은 고밀도, 고집적 및 초정밀 기판 제작에 많이 사용되어 지고 있고 연구되어 지고 있다. 기판 제작에 있어서 상/하 layer간에 전기적인 연결을 만들어 주는 via는 무수축 공법에서 많은 불량 요소를 만들고 있다. via홀 주변의 side void와 같은 불량 요소는 기판의 강도 저하 및 전기적인 open 불량을 만들게 되며, 신뢰성에서는 내수분 침투의 pass로 작용하게 된다. 본 논문은 무수축 공법에서 via 주변의 side void가 발생하는 원인과 수축 거동에 대하여 연구 하였다.
저자 김형호, 이종면
소속 삼성전기 중앙(연)
키워드 LTCC; Silver Paste; 무수축
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