화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교)
권호 6권 1호, p.2153
발표분야 재료
제목 Copper Electrodeposition에 있어서의 Additives에 따른 영향성 연구
초록 본 연구에서는 전해도금 방법에 의해 구리 박막을 제조하고, 첨가제로써 PEG 및 UREA 등을 사용하고 이에 따른 영향성을 여러 가지 분석장비(AES, XRD, SEM 등)를 이용하여 살펴보는데 그 목적이 있다.
저자 김덕수, 김도형
소속 전남대
키워드 Copper Electrodeposition; Additives
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