| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.3005 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 대직경·무결점 실리콘 wafer 생산을 위한 Power Control Mode 개발 |
| 초록 | Czochralski 반응을 이용한 결정성장로 공정은 반도체의 재료가 되는 웨이퍼를 생산하는 공정이다. 현재 반도체 업계에서는 대용량의 반도체 칩을 생산하기 위하여 보다 더 큰직경과 고품질의 웨이퍼를 요구하는 실정이며 이러한 요구를 충족시키기 위해서는 보다 강건하고 정교한 제어가 뒷받침되어야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해서 본 연구에서는Czochralski 결정성장로 공정에 있어서 기존 시스템의 제어 구조를 대체할 power controlmode를 개발, 적용시켰다. |
| 저자 | 김재훈, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권 |
| 소속 | 영남대 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
