| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 |
6권 2호, p.3017 |
| 발표분야 |
공정시스템 |
| 제목 |
Czochralski 결정성장로 공정에서의 Temperature Target Profile 자동 개선을 위한 Dynamic Matrix Control의 적용 |
| 초록 |
Czochralski 반응을 이용한 결정성장로 공정은 반도체의 재료가 되는 웨이퍼를 생산하는 공정이다. 현재 반도체 업계에서는 대용량의 반도체 칩을 생산하기 위하여 보다 더 큰 직경과 고품질의 웨이퍼를 요구하는 실정이며 이러한 요구를 충족시키기 위해서는 보다 강건하고 정교한 제어가 뒷받침되어야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해서 본 연구에서는 Czochralski 결정성장로 공정에서 feed forward 제어기의 역할을 하고 있는 temperature target scheduler의 temperature target profile을 batch간의 공정 데이터와 DMC(Dynamic Matrix Control)이론을 적용하여 보정해 줌으로써 보다 정교하게 결정성장로 공정을 제어하는데 중점을 두었다. |
| 저자 |
이동기, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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