| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.230 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | Czochralski 공정에서의 DMC를 이용한 Feedforward 제어기 설계 및 현장 적용 |
| 초록 | 국내에서는 현재 (주)LG실트론을 비롯하여 대략 2개의 회사가 실리콘 단결정을 생산하고 있다. (주)LG실트론은 단결정 성장(Crystal Growing)에서부터 웨이퍼 가공에 이르기까지 일괄생산공정을 갖추고 있으며, 현재 100, 125, 150, 200, 300mm 폴리시드 웨이퍼(Polished Wafer)와 150, 200mm 에피텍시얼 웨이퍼(Expitaxial Wafer)를 생산하고 있다. 하지만, 현재 실리콘 단결정을 생산하기 위한 장비 및 기술은 해외로부터 이전되어진 것이다. 이러한 이유로 아직까지 결정성장로 제어 시스템에 대한 연구가 미흡한 실정이다. 본 논문에서는 결정성장로 제어 시스템에서 Feedforward 제어기 역할을 하고 있는 Target Temperature Scheduler를 매 Batch마다 보정해주기 위하여 현재 공정산업에서 널리 사용되고 있는 고급제어기법인 MPC(Model Predictive Control) 기법을 이용하여, 이러한 Temperature Target Profile 을 자동적으로 개선해 줄 수 있는 Target Temperature Profile 자동개선 Modul을 개발하는데 중점을 두었다. |
| 저자 | 박진국, 이문용, 이기홍 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | DMC; MPC; Feedforward |
| 원문파일 | 초록 보기 |
