| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (10/21 ~ 10/23, 일산 KINTEX) |
| 권호 | 21권 2호, p.2261 |
| 발표분야 | 촉매 및 반응공학 |
| 제목 | 고체 산 촉매에 의한 NF3 가수 분해에서의 스팀공급량의 영향 |
| 초록 | NF3는 LCD TV와 같은 전자제품 생산과정에서 에칭 및 세정용 가스로 널리 사용되고 있으며, 생산량이 증가하는 추세이다. 그에 따라 배출량도 증가하고 있으므로 지구온난화에 영향을 미치는 불화온실가스 중 하나인 NF3는 공기 중으로 배출되기 전에 분해되어야 한다고 판단된다. 현재 보고된 NF3의 분해 방법에는 여러 가지가 있지만 그 중 촉매분해법이 비교적 낮은 온도에서도 높은 분해효율을 기대할 수 있다. 따라서 높은 내구성과 촉매활성을 가진 촉매 개발이 필요하다. 본 연구에서는 고체 산 촉매인 알루미나계 촉매를 사용하여 NF3를 가수분해 하고자 하였으며, 가수분해 반응에 필요한 스팀의 공급량을 조절하여 분해효율이 높은 최적의 조성을 찾고자 하였다. 그에 따라 스팀의 공급량이 증가하면 NF3의 전화율이 감소하는 것을 확인하였다. 반응 전/후의 촉매의 특성변화는 XRD, SEM, EDX 분석등을 통해 확인하였다. |
| 저자 | 장원철1, 박노국2, 이태진2, 김민정2, 최원영2, 박창준2, 이태훈2, 성연백2, 이진욱2 |
| 소속 | 1코캣, 2영남대 |
| 키워드 | NF3; 가수분해; Al2O3 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
