| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.5150 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Remote plasma를 이용한 TiO2 박막 증착 및 특성분석 |
| 초록 | 본 연구에서는 저온에서의 우수한 박막을 제조하기 위하여 TTIP를 이용하여 LPCVD와 remote-PECVD법으로 TiO2 박막을 증착하고 증착된film의 특성분석을 수행하였다. 또한 증착조건하에서의 기상반응 기구를 in-situ FTIR을 이용하여 살펴보았다 |
| 저자 | 안경호, 송소영, 박동화 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | remote plasma; TiO2; PECVD |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
