| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.4671 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 원자층 나노박막 증착을 위한 표면화학 연구 |
| 초록 | 원자층 화학증착 공정은 나노 스케일의 박막증착을 위해서 가장 적합한 기술로써 유기금속전구체의 self-limiting 표면반응에 기초하고 있다. 원자층 증착 공정의 최적화와 적합한 전구체의 개발을 위해서는 표면화학 연구가 필수적이다. |
| 저자 | 용기중 |
| 소속 | 포항공대 화공과 전자재료표면화학연구실 |
| 키워드 | 원자층 화학증착법; 표면화학 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
