| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | (특별세션) 제13회 반도체공정진단 워크숍(반도체공정/소재) |
| 제목 | 반도체/디스플레이 장비 공정부품용 코팅소재의 진단 및 신뢰성평가 기술 |
| 초록 | 반도체/디스플레이 공정에서 플라즈마는 건식 에칭공정과 챔버클리닝 공정에 사용되고 있다. 플라즈마에 노출되는 장비부품은 물리화학적 부식으로 인해 표면균열, 오염입자, 식각 등이 발생하여 공정 수율에 많은 영향을 미치고 있다. 이러한 장비부품은 이온, 활성기체, 고온 등에 대한 내식성이 뛰어난 코팅소재(Al2O3, Y2O3, YOF 등)를 다양한 방법으로 산화피막을 코팅하여 사용하고 있다. 하지만, 다양한 코팅소재, 코팅방법에 대한 플라즈마 내부식성이 각각 다르기 때문에 공정실패, 교체주기를 파악하기 매우 어려운 문제가 있다. 따라서, 본 발표에서는 코팅부품의 실공정에서의 평가를 위해 플라즈마 및 고온 환경에서의 실시간 오염입자 진단, 그리고 신뢰성평가에 대해서 발표하고자 한다. |
| 저자 | 김민중, 이승수, 소종호, 김진태, 정낙관, 최은미, 윤주영 |
| 소속 | 한국표준과학(연) |
| 키워드 | 코팅소재; 진단; 신뢰성 평가 |
