| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (04/22 ~ 04/23, 여수대학교) |
| 권호 | 11권 1호, p.864 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 단성분계 박막을 통한 PZT제조와 PbO층의 영향 |
| 초록 | 다성분계 박막의 경우 조성조절이나 재현성에 문제점을 나타내고 있지만, 현재의 연구 동향은 새로운 물질의 개발이나 장비 개발에 역점을 두고 공정상의 개선 연구는 미흡한 실정이다. 그리하여 본 연구에서는 RTMOCVD 방법을 이용하여 PZT박막을 제조하는데 있어서 기존의 복합산화막 방식이 아닌 단성분계 적층형 구조를 통한 다성분계 적층형 구조의 박막을 제조하여 기존의 조성 조절성이나 재현성을 갖는 공정을 개발하는 것이다. 단일상의 두께 조절을 통해서 다성분의 조성을 조절하며, 단성분계 박막의 경우 비교적 재현성에 이점을 갖는 전체 공정의 재현성의 이점을 가져 올 것이다. 적층형 구조의 PZT박막에서 glue layer로 작용하는 PbO의 역할을 알아보며, 그 밖에 여러가지 측정장치를 이용하여 전기적 특성과 물리적 특성등을 보여 줄 것이다. |
| 저자 | 강병선, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 다성분계 다층박막; 단일상; PbO영향성 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
