| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.2398 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 기판이 졸-겔 TiO2 박막의 미세구조 및 광촉매 활성에 미치는 영향 |
| 초록 | 본 연구에서는 졸-겔 침지코팅법을 사용하여 alkoxide로부터 TiO2 박막을 붕규산 유리, 소다석회 유리, 실리콘 웨이퍼 기판 위에 코팅하였다. 코팅된 TiO2 박막의 표면은 균일하고 매끈하였으며 1회 코팅한 TiO2 층의 두께는 약 110 nm로 각각 나타났다. 소다석회 유리의 경우에는 TiO2를 코팅 전에 SiO2 층을 입히면 anatase 결정성과 광촉매 활성이 증가하였다. 실리콘 웨이퍼 위에 TiO2를 코팅한 경우에는 400℃에서 anatase 상이 형성된 반면, 유리 기판의 경우에는 400℃에서 anatase 결정이 형성되지 않았다. 실리콘 웨이퍼 위에 코팅한 TiO2 박막의 미세결정크기는 열처리온도가 400℃에서 1000℃로 증가함에 따라 10 nm에서 30 nm로 증가하였다. |
| 저자 | 오승훈1, 김동진2, 김의정, 한성홍 |
| 소속 | 1울산대, 2수학 및 물리기술학부 |
| 키워드 | Photoactivity; TiO2; coating |
| 원문파일 | 초록 보기 |
