| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.4637 |
| 발표분야 | 에너지/환경 |
| 제목 | 초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정 |
| 초록 | 초임계 유체(SCF) 기술은 최근 환경 친화적 잇점 때문에 세정, 추출, 합성 등과 같은 다양한 분야에서 주목을 받고 있다. 초임계 유체를 이용한 기술에 대한 연구는 물질과 SCF 사이의 상호 작용을 이해하는데 있어 매우 중요하다. 본 연구에서는 초임계/아임계 상태의 이산화탄소와 공용매으 상호작용을 이용하여 웨이퍼 세정에 응용 하여 그 세정의 정도를 조사 하였다. |
| 저자 | 한기현, 김선영, 유기풍 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | Supercritical; wafer; cleaning |
| 원문파일 | 초록 보기 |
