화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교)
권호 5권 2호, p.4509
발표분야 재료
제목 수열합성을 이용한 강유전체 PZT 박막 제조
초록 PZT 수열박막의 제조시 출발물질의 농도, 광화제의 농도변화 및 반응시간의 증감이박막의 결정성과 표면 입자의 크기 및 형상에 미치는 영향을 조사하였다. Ti-plate 기판 위에 PZT 박막을 수열합성으로 제조하기 위해서는 출발물질의 농도는 0.4M이상이 되어야 하고, 과포화도를 증가시키기 위해 첨가하는 광화제의 농도는 5.0M이상이 되어야 하며, 36시간동안 반응하여야 잘 성장된 PZT 박막을 제조할 수 있음을 알 수 있었다.
저자 공현구, 이진영, 조윤석, 서경원, 이승호
소속 아주대
키워드 PZT Thin Film; Hydrothermal Method
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