| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (10/26 ~ 10/28, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | 촉매_포스터 |
| 제목 | NF3 가수분해 반응에서 수분 공급량이 촉매에 주는 영향 |
| 초록 | 반도체 세정 및 에칭 공정에 사용되는 NF3는 GWP가 CO2의 17000배에 달하며 대기에서 긴 수명을 가지고 있다. 그러므로 NF3는 안전하고 낮은 비용의 분해방법이 필요하다. 이미 NF3의 분해방법으로는 열 분해법, 플라즈마 분해법 등 다양한 기술들이 있다. 하지만 이 기술들은 높은 온도에서 진행되므로 많은 에너지를 필요로 한다. 반면, 촉매를 이용한 NF3 분해는 비교적 낮은 온도와 에너지 효율면에서 유리하다고 판단되며 촉매분해에 관한 연구는 많이 보고되지 않았다. 본 연구에서는 고체 산 촉매인 알루미나늄계 촉매를 사용하여 NF3를 가수분해 하고자 하였으며, 가수분해 반응에 필요한 스팀의 공급량을 조절하여 분해효율이 높은 최적의 조성을 찾고 수분공급량에 따라 촉매 표면의 형태가 어떻게 변하는지를 관찰하였다. 반응 전/후의 촉매의 특성변화는 XRD, SEM 분석등을 통해 확인하였다. |
| 저자 | 이진욱1, 박창준1, 최원영1, 김민정1, 정용한1, 이태진1, 박노국1, 장원철2 |
| 소속 | 1영남대, 2코캣 |
| 키워드 | NF3; hydrolysis; solid acid catalyst |
