| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (10/26 ~ 10/28, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | 환경에너지_포스터 |
| 제목 | 챔버 내구성 향상을 위한 코팅층 열응력 해석 |
| 초록 | 극한환경 하에서 초고온 핵심부품의 내구성을 향상시키기 위해 내열, 내산화, 내부식 등의 한계를 극복하는 것이 필요하다. 이를 위해 부품의 소재에 대한 많은 연구들이 이루어지고 있다. 그러나 부품의 소재를 전부 교체하기에는 내구성이 뛰어난 소재는 가격적인 면에서 경쟁력이 떨어지기 때문에 모재에 코팅이나 클래딩을 이용하여 내구성을 향상시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 전자산업공정에서 사용하는 스크러버 내의 초고온 환경 하에 챔버는 고내구성을 요하기 때문에 이러한 코팅층의 최적화가 매우 중요하다. 그러나 소재에 따라 코팅재와 모재의 열팽창계수가 다르기 때문에 코팅층의 균열이나 박리현상이 일어나서 더 큰 열응력이 발생 할 수 있다. 본 연구에서는 고속화염 용사 니켈 합금 코팅을 적용한 챔버 코팅층의 열응력 해석을 통해 코팅층 최적조건을 도출하고자 한다. |
| 저자 | 정희숙, 송형운 |
| 소속 | 고등기술(연) |
| 키워드 | 챔버(Chamber); 유한요소해석(Finite Element Analysis); 열응력(Thermal Stress); 용사코팅(Coating); 니켈합금(Nickel alloy) |
