학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
권호 | 13권 2호 |
발표분야 | 전자재료 |
제목 | LTCC 무수축 비아 전극의 수축 거동에 관한 연구 |
초록 | 저온에서 동시 소성 가능한 다층 세라믹 기판은(LTCC) 부품의 소형화, 고기능화 및 집적화를 이루기 위하여 RF부품 및 전자 부품에 많이 사용되어 지고 있다. 특히, 알루미나와 같은 구속층을 사용하여 구속 소성하는 무수축 공법은 고밀도, 고집적 및 초정밀 기판 제작에 많이 사용되어 지고 있고 연구되어 지고 있다. 기판 제작에 있어서 상/하 layer간에 전기적인 연결을 만들어 주는 via는 무수축 공법에서 많은 불량 요소를 만들고 있다. via홀 주변의 side void와 같은 불량 요소는 기판의 강도 저하 및 전기적인 open 불량을 만들게 되며, 신뢰성에서는 내수분 침투의 pass로 작용하게 된다. 본 논문은 무수축 공법에서 via 주변의 side void가 발생하는 원인과 수축 거동에 대하여 연구 하였다. |
저자 | 김형호, 이종면 |
소속 | 삼성전기 중앙(연) |
키워드 | LTCC; Silver Paste; 무수축 |