학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교) |
권호 | 2권 2호, p.2571 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 무전해 Ni-P도금된 WC-Co상에 다이아몬드 박막 증착 |
초록 | 초경공구(WC-Co)의 성능향상을 목적으로 고경도, 고열전도도의 특성 등을 지닌 다이아몬드 박막을 코팅하고 있으나 WC-Co 기판표면의 특성상 문제점으로 인하여 코팅의 어려움이 있다. 이 문제를 해결하기 위하여 WC-Co 기판위에 중간층을 도입한 후 다이아몬드 박막을 증착시키는 새로운 방법을 고려하였으며 중간층의 제조에 무전해 Ni-P 도금법을 사용하였다. 실험으로 무전해도금을 위한 WC-Co기판의 전처리, 무전해도금 및 열처리, 다이아몬드 박막 증착을 실시하였고 각 단계별로 형성되는 계면의 구조와 성분, 계면간의 밀착력을 분석하였다. 도금층의 열처리 온도 증가시킬 때 Ni결정의 성장으로 도금층의 밀착력이 향상됨을 관찰하였다. 증가된 증착온도 800oC에서 열처리된 Ni-P도금층위에 양호한 다이아몬드 박막을 얻었다. |
저자 | 김진오1, 김헌2, 박정일*, 박광자* |
소속 | 1명지대, 2국립기술품질원 무기화학과* |
키워드 | diamond thin film; chemical vapor deposition; microstructure; interlayer |
원문파일 | 초록 보기 |