| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.993 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | LSMCVD 공정으로 제조한 BST 박막의 저온 결정화 |
| 초록 | LSMCVD 방법을 이용해서, Ba(dpm)2와 Sr(dpm)2, 그리고 TTIP를 1-butanol에 용해 시킨 전구 용액으로 Pt/SiO2/Si 기판 위에 BST 박막을 증착했다. 박막은 650℃에서 (110)방향성이 우세한 perovskite 구조를 갖고 균일한 표면을 보였으며, 그 이상의 온도는 결정성에 영향이 없었다. 유전상수는 240, tan 는 0.39 (각각 0V, 100kHz 기준), 그리고 누설전류밀도는 2.5×10-5A/cm2(1.5V기준)의 값을 보였다. |
| 저자 | 박진, 정현진, 박승빈, 우성일 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | LSMCVD; BST; film; crystallization; dpm |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
