| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (04/23 ~ 04/24, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 15권 1호, p.894 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 건식/습식 연속공정을 이용하여 성막된 ZnO의 결정성과 표면특성 |
| 초록 | 본 연구에서는 ZnO박막 형성을 위하여 원자층 증착공정(ALD)과 수열합성 공정을 연속으로 진행하여 보았다. 일반적으로 수열합성법의 경우 씨앗층 형성과 벌크 박막 형성의 두 단계 공정으로 ZnO 박막을 제조하는데, 씨앗층 형상이 벌크 박막 특성에 큰 영향을 준다고 알려져 있다. 따라서 본 연구에서는 습식의 씨앗층 공정 대신 건식 공정인 원자층 증착 공정을 사용하고, 그 위에 습식공정으로 ZnO벌크 박막을 형성하여 원자층 증착으로 제조된 ZnO 씨앗층의 효과를 제조된 박막의 결정성과 표면특성으로 중심으로 살펴보았다. |
| 저자 | 정하나, 김도형 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | ZnO; 원자층 증착공정(ALD); 수열합성법(hydrothermal synthesis) |
| 원문파일 | 초록 보기 |
