| 초록 |
hybrid integrated circuits,multilayer ceramic capacitor와 같은 전기재료 제조에서 금속분말로부터 전도성 박막을 형성하는 기술은 매우 중요하다.가격이 비싼 금속들이 전도성 막을 만드는데 이용함에도 불구하고, 최근에는 가격적으로 저렴한 금속들로 대체하려는 노력들이 이루어지고 있다. 예를 들어, Ni powder는 Palladium을 대신하여 multilayer ceramic capacitor의 내부전극으로 사용되어 지고 있다. 전극의 특성을 좌우하는 것은 그 구성의 대부분을 차지하는 분말의 특성에 의한 것인데, Ni 전극의 경우 미립형의 Ni 분말 제조기술 개발이 이뤄지지않고 있으며, Ni 재료에 대한 국내의 기반기술이 형성되지 않고 있기 때문에 고적층 칩부품에의 적용에도 상당한 애로가 있는 것이 사실이다. 현재 국내에 수입되고 있는 Ni 전극의 경우 사용되는 분말의 입도가 0.5∼1.0㎛ 정도인 것이 대부분이어서 0.5㎛ 이하의 Ni 분말을 이용한 전극의 개발이 시급한 실정이다.분무열분해 또는 aerosol-to-particle conversion 기술은 주로 다양한 산화물 또는 금속입자 들의 제조에 이용되었다. 제조된 입자들은 일반적으로 micron 또는 submicron 크기에 상대적으로 좁은 입도분포를 가지는 구형입자들이나, 종종 중공입자 또는 다공성입자들을 얻는데, 이는 높은 반응속도 조건하에서 solvent의 증발이 지연되기 때문이다. 게다가 제조된 입자는 반응의 복합성 때문에 언제나 좁은 분포를 가지지 않는다. 따라서 제조된 입자의 특성을 조절하는 것이 이 연구에서 주된 관심사이다. 본 연구에서는 Nickel 입자를 분무 열분해법으로 제조하였고, 제조된 Nickel 입자의 크기와 형상과 같은 변수들을 연구하였다. |
