| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3841 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 유기금속 화학증착법으로 제조된 알루미늄 박막의 증착특성 |
| 초록 | 알루미늄 화학증착에 있어서 현재 가장 큰 문제점은 증착막의 거친 표면 모폴로지 조 절이다. 본 연구에서는 낮은 온도에서도 증착이 가능하며, 탄소 불순물의 내제를 극소화 할수 있다고 알려진 DMEAA를 이용하여 알루미늄을 증착할 때 기판의 플라즈마 전처리, 사용된 운반 기체의 종류, 그리고 증착 온도가 증착막의 핵화 및 모폴로지에 미치는 영향성을평가 하였다. 그리고 실제 응용을 위해서 필요한 증착막의 비저항, 막성장 속도, 결정성과상기공정 변수와의 상관성을 4-point probe, XRD를 이용하여 평가하였다. |
| 저자 | 김도형, 임경택, 김병엽, 박진원 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | Chemical vapor deposition; Aluminum; morphology |
| 원문파일 | 초록 보기 |
