| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.905 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 실리콘 초클랄스키 공정에서 점 결함 밀도에 대한 공정 변수의 영향 연구 |
| 초록 | 본 연구는 실리콘 초클랄스키 공정에서 조업 변수를 바꾸어 가면서 공정을 모사하였 다. 이를 토대로 vacancies와 self-interstitials의 두 점 결함의 밀도를 구하였으며, 점 결함의 밀도에 대한 공정 변수의 영향을 연구하였다. |
| 저자 | 김종선, 이태용 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | Czochralski; silicon; point defect |
| 원문파일 | 초록 보기 |
