| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
고분자_포스터 |
| 제목 |
파일럿 롤투롤 스퍼터로 성막한 SiOx, SiNx 배리어 필름의 물성 분석 및 수분투과도 연구 |
| 초록 |
플라스틱 기판은 열에 대해 저항력이 약하며, 수분이나 산소와 같은 기체 분자들이 플라스틱 기판을 투과하여 소자에 수명을 단축시키게 된다. 이러한 플라스틱 기판의 단점을 보호하기 위한 배리어 연구가 활발히 이루어지고 있다. 본 연구에서는 SiOx와 SiNx 산화막을 각각 이용한 배리어 필름을 파일롯 스케일의 롤투롤 스퍼터를 이용하여 대면적으로 제작하고, SiOx와 SiNx 배리어 필름의 구조적 광학적 특성과 두께에 따른 수분 투과도(water vapor transmission rate)를 조사하는 실험을 수행 하였다. 이러한 연구 결과를 바탕으로 대면적의 유연한 디스플레이소자로의 응용을 위한 SiOx와 SiNx 배리어 필름의 기초 물성을 보고하고자 한다. |
| 저자 |
이재흥, 이상진, 김철환, 김성현
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| 소속 |
한국화학(연) |
| 키워드 |
파일럿 롤투롤 스퍼터; 베리어 필름; 수분투과도
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