| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (04/30 ~ 05/02, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-촉매 |
| 제목 | 다양한 금속산화물 촉매를 이용한 NF3 가수분해 |
| 초록 | 반도체 제조공정에서 에칭 및 세정을 위해 사용되는 삼불화질소(NF3)는 세계적으로 발생량은 매우 적지만 GWP(CO2 대비 지구온난화 지수)가 17000에 달하기 때문에, 최근 교토의정서 규제대상 온실가스 중 배출감축 최우선 후보로 지정되고 있다. NF3 가스는 물에 의한 가수분해 또는 산소에 의한 산화반응을 통해 질소산화물 및 불소화합물로 분해 될 수 있고, 분해를 위한 촉매로는 주로 고체산 촉매들이 사용된다. 본 연구에서는 NF3의 가수분해 반응을 위해 γ-Al2O3, ZrO2 등 금속산화물들을 촉매로 사용하였으며, 그 성능을 비교한 결과 γ-Al2O3가 가장 좋은 성능을 나타내었다. NF3 촉매분해반응에서 반응기로 유입되는 NF3의 농도는 5000 ppm 이었으며, 반응은 400 ℃에서 6시간 동안 진행되었다. 반응 전 후의 촉매의 물성변화는 질소흡착법, XRD, EDX에 의하여 분석되었다. |
| 저자 | 김용술1, 박노국1, 최희영1, 지찬태1, 이태진1, 장원철2 |
| 소속 | 1영남대, 2(주)코캣 |
| 키워드 | NF3 촉매가수분해; γ-Al2O3 |
