| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산)) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 정보전자소재 |
| 제목 | 선형 유무기 하이브리드 형태의 하드마스크 제조 및 특성연구 |
| 초록 | 습식공정(Spin-On process)적용이 가능하고, 상층부(감광제)에 의해 하드마스크가 쉽게 식각되도록 하드마스크 성분에 무기계를 갖는 동시에 하층부(substrate)를 식각하기 위해 하드마스크가 유기계 성분을 갖는 유무기 하이브리드 형태의 single-layer 하드마스크를 제조하여 식각조건 및 특성에 관하여 연구하였다. 더욱이 하드마스크 위에 도포되는 감광제의 용매에 의해 물질이 녹아 나오는 문제점을 해결하기 위해 가교결합이 유리한 선형타입의 유무기 하이브리드 형태의 물질로 합성하여 견고한 하드마스크층을 형성할 수 있도록 하였다. |
| 저자 | 유제정, 송재동, 이경균, 이성구, 김상범 |
| 소속 | 한국생산기술(연) |
| 키워드 | 하드마스크; 유무기 하이브리드 |
