| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.4866 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 플라즈마와 표면굴곡과의 상호작용 |
| 초록 | Argon 플라즈마와 접촉하고 있는 천공으로부터 나오는 이온의 에너지분포와 각도분포를 측정함으로써, 플라즈마와 굴곡을 지닌 표면과의 상호작용을 관찰하였다. Shaeth의 두께와 천공의 지름과의 비율을 변화시키면서 실험을 수행하였다. 천공의 지름이 sheath 두께보다 훨씬 작을때는 플라즈마가 천공의 존재에 영향을 받지 않았다. 이 때, 이온의 에너지분포는 두 개의 피크를 가졌다. 또한 이온의 각도분포는 표면으로부터 수직인 각도에 피크가 있는 Gaussian 분포였다. 한편, 천공의 지름이 sheath 두께보다 클 경우에는 플라즈마가 천공으로부터 누출했다. 이 경우에는 이온이 sheath를 통과할 때 평균 sheath potential에 의존하기 때문에 이온의 에너지분포가 단일 피크를 보였다. 이온의 각도분포는 매우 isotropic 했고 전압이나 압력을 변화해도 그 모양이 거의 변하지 않았다. |
| 저자 | 김창구 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | High Density Plasma; Ion Energy Distribution; Ion Angular Distribution |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
