| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.453 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 차수감소 Q-ILC를 이용한 고속 열처리 공정의 온도제어 |
| 초록 | 본 연구에서는 반도체 공정인 RTP에 대한 모델링과 차수 감소 Q-ILC를 이용하여 제 어를 하고 이를 검토해 보았다. RTP의 특징은 전형적인 회분식 공정에 다중입출력계이고복사열에 의한 비선형이 강한 특징을 가지고 있다. 이와 같은 특징을 고려하여 SubspaceIdentification을 이용 최적의 상태공간 모델을 찾고, 모델 오차에 강인한 면을 보이고 있는차수 감소 Q-ILC를 이용 제어를 하여 결과를 검토하였다. |
| 저자 | 정영석, 이동욱, 이광순 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | RTP; Q-ILC |
| 원문파일 | 초록 보기 |
