| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (04/20 ~ 04/21, 대구 인터불고 호텔) |
| 권호 | 12권 1호, p.1019 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Electrical properties of MIM capacitor with LaxAlyOz lamiante dielectrics deposited by ALD |
| 초록 | LaxAlyOz laminate 박막을 ALD 방법으로 TiN 기판에 성장시켰다. 박막 성장에 사용된 source 물질로 Lanthanum 2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedione [La(TMHD)3] 과 Trimethyl aluminum [TMA] 그리고 H2O 를 사용하였다. LaxAlyOz laminate 박막의 구조적, 전기적 특성을 AFM, AES, SEM, TEM, I-V, C-V 를 이용하여 분석하였다. LaxAlyOz laminate 박막의 특징으로 amorphous 구조이며 La, Al, O 의 비율이 1 : 3 : 6 이었다. 박막을 온도에 따라 열처리 하여 누설전류와 유전상수를 측정하였다. 열처리 온도가 높을수록 두 전기적인 특성 모두 향상되는 결과를 얻었고 향상된 결과는 +1 v 에서 누설전류값은 ~10-10 (A/cm2) 를 유전상수는 7.0 을 얻었다. |
| 저자 | 김수영, 하정숙, 조상진, 김병호, 강동균, 박원태 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | ALD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
