검색결과 : 5건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
유기 물질을 사용한 구리박막의 건식 식각에 대한 헥사플루오로이소프로판올 첨가의 영향 박성용, 임은택, 차문환, 이지수, 정지원 Korean Journal of Materials Research, 31(3), 162, 2021 |
| 2 |
Bosch 공정에서 Si 식각속도와 식각프로파일에 대한 Ar 첨가의 영향 지정민, 조성운, 김창구 Korean Chemical Engineering Research, 51(6), 755, 2013 |
| 3 |
Organic acid-based wet etching behaviors of Ga-doped ZnO films sputter-deposited at different substrate temperatures Lee DK, Bang J, Park M, Lee JH, Yang H Thin Solid Films, 518(14), 4046, 2010 |
| 4 |
Profile simulation of high aspect ratio contact etch Kim D, Hudson EA, Cooperberg D, Edelberg E, Srinivasan M Thin Solid Films, 515(12), 4874, 2007 |
| 5 |
A study of GaN etching characteristics using HBr-based inductively coupled plasmas Kim DW, Jeong CH, Lee HY, Kim HS, Sung YJ, Yeom GY Solid-State Electronics, 47(3), 549, 2003 |