검색결과 : 5건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
WSi 2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si 3 N 4 박막의 증착 안승준, 김대욱, 김종해, 안성준, 김영정, 김호섭 Korean Journal of Materials Research, 14(6), 402, 2004 |
| 2 |
초소형 전자칼럼의 제작 및 특성 연구 안승준, 김대욱, 김영철, 안성준, 김영정, 김호섭 Korean Journal of Materials Research, 14(3), 186, 2004 |
| 3 |
레이저 미세가공 기술을 이용한 초소형 전자빔 장치용 정전장 전자렌즈의 제작 안승준, 김대욱, 김호섭, 김영정, 이용산 Korean Journal of Materials Research, 11(9), 792, 2001 |
| 4 |
Nd:YAG Laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각 채상훈, 서영준, 송재성, 민복기, 안승준, 이주현 Korean Journal of Materials Research, 10(2), 171, 2000 |
| 5 |
N2 가스 Flow 에 의한 LPCVD 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 산소농도 저하 안승준, 정민호 Korean Journal of Materials Research, 9(3), 269, 1999 |